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번호 제품이미지 제품명
1 고진공 고배율용 전도성 코팅기 인기글 첨부파일

Leica EM ACE600에 맞춘 진공 극저온 전환 시스템인 Leica EM VCT는 오염이 없는 극저온 SEM 샘플 준비에 이상적인 솔루션이 됩니다.

2 초저온 전자동 전도성 코팅기 인기글 첨부파일

유리화된 동결 구조는 환경적 영향에 극단적인 민감성을 가지며 아티팩트가 형성되지 않도록 보호해야 합니다.

3 [정립 현미경] 반도체 검사용 정립 현미경 인기글 첨부파일

마이크로 전자 및 반도체 산업에서 검사, 공정 제어 또는 결함 및 고장 분석에 있어서 넓은 시야(FOV)를 활용 결함을 더 신속하고 정확히 발견할 수 있습니다.

4 [정립 현미경] Wafer(8" & 12") 검사용 정립 현미경 인기글 첨부파일

매크로 모드(macro mode), 경사 UV 조명(oblique UV illumination, OUV) 등의 혁신적인 기능으로 12인치 웨이퍼와 8인치 웨이퍼 검사시 높은 분해능과 빠른 작업 속도를 제공하는 반도체 검사용 정립 현미경

5 자동 박막 두께 측정기 [Robotic SENDURO® MEMS] 인기글 첨부파일

SENDURO®MEMS is a fully automated, flexible measurement tool for quality control.
It measures a large variety of thin films and stacks such as oxides, nitrides, a-Si, Si-membranes, resists, typical to MEMS and sensor production.

6 자동박막측정기 [SENDURO] 인기글 첨부파일

SENDURO_ 자동 맵핑 엘립소미터

7 분광 엘립소미터 분석기 [SENresearch 4.0] 인기글 첨부파일

SENresearch_ R&D 및 고성능 엘립소미터

8 분광 엘립소미터 분석기 [SENpro] 인기글 첨부파일

Ellipsometric 원리를 이용하여, Nano ~ Miro 사이즈의 thin layer 의 두께를 측정하는 장비

9 레이저 박막측정기 Laser Ellipsometer [SE400] 인기글 첨부파일

SE400adv 단파장 엘립소미터 (Laser Ellipsometery)

10 박막두께측정기 Reflectometer [RM1000 / RM2000] 인기글 첨부파일

RM1000 / 2000

11 박막두께측정기 Reflectometer [FTP Adv] 인기글 첨부파일

FTPadv-1 / FTPadv-2

12 박막두께측정기 Reflectometer(Software) 인기글 첨부파일

FTPadv Expert(Software)

13 X-선 회절 분석기(X-Ray Diffraction) 인기글 첨부파일

탁상형 XRD System

14 Carrier Life time 측정장비 [MDPmap] 인기글 첨부파일

단결정 및 다결정 웨이퍼 캐리어라이프타임 측정 장치로 정교한 재료 연구 및 개발 사용됩니다.

15 대면적 맵핑형 면저항 측정기 [EddyCus® TF map SR series] 인기글 첨부파일

EddyCus TF 2525SR 맵핑은 자동 측정 모드에서 250 × 250 mm² 인 (10 × 10 인치)에 큰 샘플의 시트 저항을 측정한다

16 포인트 면저항 측정기 [EddyCus® TF Lab Series] 인기글 첨부파일

EddyCus®의 TF lab Series (Thin Film)는 도전성 박막 용 비접촉식 실시간 단일 포인트 시트 저항 및 금속 막의 두께 측정을 하는 시험기 입니다.

17 ICP 플라즈마 에칭 장비 [SI 500] 인기글 첨부파일

SENTECH社 하이 엔드 플라즈마 에칭 시스템 SI (500) 는 저 손상 에칭 및 나노 구조화를 위해 낮은 이온 에너지를 갖는 유도 결합 플라즈마를 사용한다

18 PECVD 플라즈마 증착 시스템 [SI 500 D] 인기글 첨부파일

SI 500 D 는 플라즈마 기반 증착 공정에 탁월한 성능을 제공합니다. 고품질 유전체 및 Si 막은 PTSA ICP 플라즈마 소스로 생성 된 고밀도 PECVD를 사용하여 증착됩니다.

19 PEALD (Atomic Layer Deposition) 플라즈마 원자 증착 시스템 [SI PE ALD] 인기글 첨부파일

SENTECH사의 SI PEALD system은 저온의 원자 증착 장비로 실시간으로 원자 증착을 Monitoring 할 수 있는 In-Situ Ellipsometor를 장착하여 높은 Quality의 막질과 공정 개발이 가능한 제품입니다.

20 레이저 박막분석기 Laser Ellipsometer [SE500] 인기글 첨부파일

SE500adv CER Ellipsometer 단파장 + 리플렉토미터 (Advanced Combined Ellipsometery+ Reflectometer)

21 실시간 Inline 면저항 측정 장비 인기글 첨부파일

EddyCus TF In line제품은 R2R 공정이나 대형 기판의 제조 및 검수 공정에서 실시간으로 면저항의 측정하여 수율을 평가하여 완제품 공정 이후 발생할 수 있는 불량율을 낮춰줄 수 있는 제품 입니다. 엘림글로벌의 숙련된 엔지니어를 통해 고객 맞춤형 설치 및 제안을 해드리는 모든 고객에 맞춤형 제품을 공급해드리고 있습니다.

22 인라인 면저항 측정기 [EddyCus® TF Inline Series] 인기글 첨부파일

SURAGUS 사의 Eddy Current 방식의 비접촉 면저항 측정 방식으로 다양한 고객의 필요에 맞는 다양한 제품을 공급하고 있습니다.

23 휴대용 면저항 측정기 (EddyCus portable) 인기글 첨부파일

EddyCus portable은 현장에서 빠르게 면저항을 측정할 수 있는 장비입니다.

24 배터리&쏠라 품질 검사장비[B-Lab] 인기글 첨부파일

자기장 이미지 (MFI) 기술을 통해 비접촉 및 정량적으로 전류를 분석합니다.

25 MDP ingot 인기글 첨부파일

Photoconductivity 측정

26 인공지능 기반 이미지 분석 프로그램 - 비전 AI 인기글 첨부파일

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