SENDURO®MEMS is a fully automated, flexible measurement tool for quality control.
It measures a large variety of thin films and stacks such as oxides, nitrides, a-Si, Si-membranes, resists, typical to MEMS and sensor production.

SENDURO_ 자동 맵핑 엘립소미터

SENresearch_ R&D 및 고성능 엘립소미터

SENDIRA_ IR (FT-IR Source)은 광범위한 분광 영역 1,700nm ~ 25,000nm을 다양한 물질의 두께를 측정할 수 있다.

Ellipsometric 원리를 이용하여, Nano ~ Miro 사이즈의 thin layer 의 두께를 측정하는 장비

SE400adv 단파장 엘립소미터 (Laser Ellipsometery)

RM1000 / 2000

FTPadv-1 / FTPadv-2

FTPadv Expert(Software)

EddyCus®의 TF lab Series (Thin Film)는 도전성 박막 용 비접촉식 실시간 단일 포인트 시트 저항 및 금속 막의 두께 측정을 하는 시험기 입니다.