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Reflectometer l Laser Ellipsometer l Spectroscopic Ellipsometer l      
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RM1000 / 2000
- Spectroscopic Reflectometer
RM1000 : 430nm ~ 930nm
RM2000 : 200nm ~ 930nm
- ACT Alignment
- High resolution mapping
5858
2
FTPadv-1 / FTPadv-2
- Film Thickness Probe FTPadv
- 가장 쉽고 빠른 박막 두께 측정
- SE(Spectroscopic Ellipsometer)에 기반한 재료정보
5800
3
FTPadv Expert
- 박막두께, 굴절률, 소광계수 분석을 위한 소프트웨어
- 멀티레이어 분석
- 다수의 Dispersion model 적용
5694
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