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박막두께측정기 Reflectometer

RM1000 / 2000
 
 

[제품 특징]
RM1000/2000모델은 박막 또는 bulk한 재료의 특성을 분석하는 광학 반사방식의 측정장비입니다.

ACT(Auto collimated telescope/microscope)를 이용하여 보다 쉽고 정확하게 시료의 Alignment가 가능합니다.
본 장비는 러프한 표면을 가지는 시료 측정에도 정확성이 우수하고 Sentech의 FTPadv Expert 소프트웨어를 통해 단층막

또는 다층막의 두께, 굴절률 등을 분석할 수 있습니다. 측정파장은 모델과 옵션에 따라 UV영역에서 IR영역까지의 넓은 파장 범위를

가지고 있습니다. 

광원
매우 안정한 할로겐텅스텐 램프 사용 

 

ACT Alignment
반사되는 LED광원을 이용하여 매우 정확한 시료의 높이와 기울기 정렬 가능 

Software
운영이 편리하고, 다량의 재료 레시피 보유. 빠른 fitting 속도 

옵션
- DUV 파장 옵션 (190nm)
- NIR 파장 옵션 (1,700nm)
- X-Y 맵핑 스테이지
- 비디오 카메라