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Reflectometer l Laser Ellipsometer l Spectroscopic Ellipsometer l      
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SE400adv
- 레이저(632.8nm) 엘립소미터
- 빠른 측정 속도
- 챔버 내 In-situ 분석(SE401adv)
- ACT 샘플 Alignment
6239
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CER Ellipsometer
- 레이저 엘립소미터와 리플렉토미터 혼합 장비
- ACT 샘플 Alignment
- 다양한 입사 각도 (40° - 90°)
5927
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